定安 县实验室气路设计/安 装/施工/改造/海南科美迪公司

实验室高纯气路布局

实验室供气系统的功能

满足不同实验的要求和安 全性,双瓶采用汇流排供气设备,具有手动、半自动和全自动切换功能,并没有低压报警装置,实时监控气压、浓度检测报警和排确保客户正常用气和生命财产安 全。

气路系统常用设备

钢瓶(气体压缩机)、钢瓶国定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金厘软管、半自动开关装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大、小封头、夹紧套情阀、不锈钢管(ba)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等。

实验室集中供气系统技术要求

1、气瓶存放室:

(1)气瓶之间应采用300毫米厚的实心墙,安 装防爆门,设置防爆裔

(2)室内电气设备应具有防爆功能:

(3)应安 装排气扇,随时保持良好的通风状态

2、供气系统需要两级减压供气。供气汇流排减压,气体从15mpa减压到小于1.5mpa,然后输送到每个气体使用实验室。二级减压器安 装在每个用气实验室或用气点,便于对通风柜或仪表的气体输送压力进行统一控制,用气终端装有中压球阀和压力指示器。二级减压器精确调节压力(.01兆怕,获得稳定的压力,可以满足仪器对不同使用压力的要求,一级减压器和二级减压器均配有压力表,可实时显示当前压力.

3,采用双侧汇流排半自动方式连续供气,实验室使用要求,更换气瓶时,可以通过安 装在高压软管下方的夹紧衰更换气瓶。

4、氢气和乙快是。应设计气体泄漏检测和报警装置,并安 装阳火器,以防止明火回流。应确保放置易燃和助燃气体的足够安 全距离.

实验室高纯气路布局1,高纯气体管道系统的布置不同于普通气体管道。一般来说,要求管道不要太长,不要有死角,如不容易吹干净的“盲管”。主管或支管的未端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中,让少量气体在管道未端连续排出,从而管道中的气体将正常流动,避免出现”死区,根据工艺气体的质量要求,必凭时应设置终端净化装置。一般来说,控制阀、过减器、减压装置、压力表、流量计、在分析仪器等,进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室,便于

统一管理和控制。2.高纯气路管道及管道附屋材料高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求,采用相应质量的管道。例,半号体工业仅需要清洁的生产环境,而目由于其复杂的生产过程和精细加工,对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求,从微米技术到亚徽米和深亚微米小于0.35um)技术,对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格,10-6 ppm级)不能满足要求,需要达到10-9 (ppb级)其至10-12pt级),粉 尘粒经要控制在0.05-0.01 um。因此,输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。