ft-391系列手持式四探针方阻测试仪

一、 概述：

参照硅片电阻率测量的国际标准（astm f84）及国家标准设计制造该仪器设计符合gb/t 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、gb/t 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、gb/t 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，采集高精密集成电路恒流源系统，提供便捷的操作模式，便携式外形结构，可充电式电源系统，中英文语言版本.

二、 功能介绍：

便携式外形结构更加适用于车间生产、品管抽检，外出携带测量等要求快速便捷测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.具有高性价比优势.

液晶显示，显示方阻、电阻率、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度，样品厚度单位从米到纳米均可输入，自动测量、质量轻便，操作简便；

三、适用范围：

广泛用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签  、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ito导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ito导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，pcb铜箔膜，emi涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，抗静电材料， emi 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等.

四、技术参数资料规格型号ft-391aft-391bft-391c1.方块电阻范围10～2.00×102ω/□10～2.00×103ω/□10～2.00×104ω/□2.电阻率范围1～2×103ω-cm1～2×104ω-cm1～2×105ω-cm3.分辨率0.01ω0.01ω0.01ω4.显示读数液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 5.测试方式单电测量6.工作电源5v,1000ma 7.整机不确定性≤4.5％（标准样片结果）8.选配 选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针